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机译:超薄原子层沉积Hf1-xAlxOy膜的电增强和高K工程
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机译:通过原子层沉积和等离子体增强原子层沉积沉积的Ta_2O_5薄膜的纳米化学,纳米结构和电学性质
机译:可调谐光学和电气性能的热和等离子体增强原子层沉积Si-Rich Si _XTI_(1-X)O_2薄膜
机译:等离子体增强原子层沉积钨膜的前体吸附机理,生长特性和电性能通过使用氧化钨前体沉积钨膜
机译:薄膜应用的分子工程:区域选择性原子层沉积(ALD)和分子原子层沉积(MALD)。
机译:膜厚对原子层沉积超薄TiO2薄膜气敏特性的影响
机译:通过等离子增强原子层沉积法沉积的超薄氧化铝膜,用于腐蚀防护