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机译:可调谐光学和电气性能的热和等离子体增强原子层沉积Si-Rich Si _XTI_(1-X)O_2薄膜
Department of Electrical Engineering Indian Institute of Technology Bombay Mumbai 400076 India;
Applied Materials India Pvt. Ltd Mumbai 400076 India;
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机译:通过热和等离子体增强原子层沉积沉积的ZnO薄膜的结构,光学,电和电阻转换特性
机译:使用双(乙基环戊二烯基)镁前体制备的等离子体增强和热原子层沉积镁氧化镁薄膜的生长特性和膜性能
机译:热退火对等离子体增强原子层沉积沉积铝氧化铝薄膜电介质,钝化和pH检测性能的影响
机译:通过衬底偏置控制通过等离子体增强原子层沉积法沉积的Al2O3薄膜的机械,结构和光学性质
机译:镧镍氧化物电极上MOCVD衍生的钙钛矿铅锆(x)钛(1-x)氧(3)和铅(scan钽)(1-x)钛(x)氧(3)薄膜的微观结构和电性能缓冲硅
机译:等离子体增强原子层沉积在低温下沉积的HfO2薄膜的结构光学和电学性质
机译:使用等离子体增强的原子层沉积在低温下沉积HFO2薄膜的结构,光学和电性能