...
机译:基于高对比度抗蚀剂层的深3D X射线光刻
Russian Acad Sci Siberian Branch Budker Inst Nucl Phys Novosibirsk 630090 Russia;
X-ray lithography; double irradiation; contrast;
机译:基于高对比度抗蚀剂层的深3D X射线光刻
机译:聚甲基丙烯酸甲酯厚抗蚀剂层在深X射线光刻中的溶胀行为
机译:SU-8抗蚀剂层的深光刻特性
机译:蒸发的AgBr作为两层光刻胶系统中的X射线敏感层,用于X射线光刻
机译:基于深度学习的基于深度学习的基于立体光刻(SLA)3D打印过程的应力预测
机译:基于深X射线光刻技术的高纵横比锥形微柱的制备
机译:深X射线光刻亚微米抗蚀剂结构制备中的二次效应的影响