机译:使用电感耦合等离子体/反应离子蚀刻的GaAs深,垂直蚀刻
Australian Natl Univ Bldg 32 North Rd Acton ACT 2601 Australia;
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机译:使用电感耦合等离子体/反应离子蚀刻的GaAs深,垂直蚀刻
机译:级联反应离子刻蚀/电感耦合等离子体刻蚀InGaAsP / InP双浅脊矩形环形激光光子集成电路的制备与表征
机译:为改善GaAs / AIGaAs材料的感应耦合等离子体反应离子刻蚀而开发的腔室调节工艺
机译:使用具有电感耦合等离子体的光致抗蚀剂掩模,通过靠近垂直壁轮廓的孔的蚀刻蚀刻200μm深气孔。
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:alGaassb和InGaassb的电感耦合等离子体反应离子刻蚀用于季铵盐锑mIm热光电