...
机译:VHF-PECVD技术沉积的氢化微晶硅薄膜的衬底效应
hydrogenated microcrystalline silicon film; VHF-PECVD (very high frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition); substrate effect;
机译:VHF-PECVD技术沉积的氢化微晶硅薄膜的衬底效应
机译:通过双束光导率研究了VHF-PECVD在玻璃基板上沉积的厚(> 1μm)硅膜中的氧气暴露后的可逆和不可逆效应
机译:VHF-PECVD法沉积的衬底温度对微晶硅膜生长特性的影响
机译:通过VHF-PECVD沉积的铝掺杂氢化纳米晶立方碳化硅膜用于硅基薄膜太阳能电池的p型窗口层
机译:通过溅射沉积在硅(001)衬底上沉积的金薄膜的表面形态。
机译:通过PECVD在镍金属化多孔硅上沉积的非晶硅薄膜的结晶
机译:VHF-PECVD生长的氢化微晶硅薄膜中的电导涨落