公开/公告号CN101525743B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江嘉远格隆能源股份有限公司;
申请/专利号CN200910097899.2
发明设计人 夏申江;
申请日2009-04-23
分类号C23C16/448(20060101);C23C16/22(20060101);C03C17/22(20060101);
代理机构33100 浙江杭州金通专利事务所有限公司;
代理人赵红英
地址 310012 浙江省杭州市西湖区西湖科技园振中路208号
入库时间 2022-08-23 09:06:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-15
专利实施许可合同备案的注销 IPC(主分类):C23C 16/448 合同备案号:2015310000054 让与人:中国建材国际工程集团有限公司 受让人:中建材光电装备(太仓)有限公司 解除日:20190219 申请日:20090423
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
2015-06-10
专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):C23C16/448 合同备案号:2015310000054 让与人:中国建材国际工程集团有限公司 受让人:中建材光电装备(太仓)有限公司 发明名称:一种采用近空间升华技术在衬底沉积形成半导体薄膜的方法和装置 申请公布日:20090909 授权公告日:20110615 许可种类:独占许可 备案日期:20150414 申请日:20090423
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
2015-06-10
专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):C23C 16/448 合同备案号:2015310000054 让与人:中国建材国际工程集团有限公司 受让人:中建材光电装备(太仓)有限公司 发明名称:一种采用近空间升华技术在衬底沉积形成半导体薄膜的方法和装置 申请公布日:20090909 授权公告日:20110615 许可种类:独占许可 备案日期:20150414 申请日:20090423
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
2014-06-25
专利权的转移 IPC(主分类):C23C16/448 变更前: 变更后: 登记生效日:20140603 申请日:20090423
专利申请权、专利权的转移
2014-06-25
专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/448 变更前: 变更后: 登记生效日:20140603 申请日:20090423
专利申请权、专利权的转移
2011-06-15
授权
授权
2011-06-15
授权
授权
2009-11-04
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-11-04
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-09-09
公开
公开
2009-09-09
公开
公开
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