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陈庆东; 王俊平; 李洁; 张宇翔; 卢景霄;
滨州学院物理与电子科学系;
郑州大学材料物理教育部重点实验室;
VHF-PECVD; 微晶硅; 激活能;
机译:薄膜太阳能电池本征氢化非晶硅的沉积-通过RF-PECVD静态生长和通过VHF-PECVD动态生长的层的比较研究
机译:VHF-PECVD制备本征微晶硅薄膜的活化能研究
机译:通过VHF-PECVD沉积的高导电性掺硼微/纳米晶硅薄膜,用于太阳能电池应用
机译:通过VHF-PECVD高速率沉积本征微晶硅吸收剂的高效太阳能电池
机译:氢化非晶硅,微晶硅和硅基合金薄膜的沉积和表征。
机译:微孪晶和纳米孪晶解释了硅纳米线和硅薄膜中的奇数电子衍射图
机译:通过HW-CVD和VHF-PECVD技术生长的微晶硅薄膜的少数载流子特性
机译:通过光CVD(化学/气相沉积)和辉光放电制备的微晶硅 - 碳p层的研究:最终转包报告,1987年12月1日 - 1988年11月30日。
机译:用于进行至少一个本征微晶或纳米晶硅层的沉积的方法和装置,以及进行该过程所获得的薄层光伏电池和晶体管
机译:用于薄膜沉积的等离子体处理装置以及使用该方法的微晶硅层沉积方法
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