法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-17
专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/448 登记生效日:20160726 变更前: 变更后: 申请日:20060316
专利申请权、专利权的转移
2016-08-17
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/448 变更前: 变更后: 申请日:20060316
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2012-02-22
专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/448 变更前: 变更后: 登记生效日:20120111 申请日:20060316
专利申请权、专利权的转移
2009-12-16
授权
授权
2006-12-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-09-20
公开
公开
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机译: 利用脉冲ALD工艺在基板上沉积薄膜的方法
机译: 一种利用脉冲ALD在晶圆上沉积薄膜的方法
机译: 一种利用脉冲ALD在晶圆上沉积薄膜的方法