机译:大气压等离子体增强化学气相沉积的研究制造铟镓锌氧化物薄膜晶体管用原位氢等离子体处理
Natl Chiao Tung Univ Inst Elect Engn Hsinchu 30010 Taiwan;
Chung Hua Univ Dept Elect Engn Hsinchu 30012 Taiwan;
Natl Chiao Tung Univ Inst Elect Engn Hsinchu 30010 Taiwan;
Natl Chiao Tung Univ Coll Elect &
Comp Engn Hsinchu 30010 Taiwan;
Natl Cent Univ Dept Business Adm Taoyuan 32001 Taiwan;
Natl Chiao Tung Univ Coll Elect &
Comp Engn Hsinchu 30010 Taiwan;
Natl Chiao Tung Univ Inst Elect Engn Hsinchu 30010 Taiwan;
AP-PECVD; IGZO TFTs; Hydrogen Plasma;
机译:大气压等离子体增强化学气相沉积的研究制造铟镓锌氧化物薄膜晶体管用原位氢等离子体处理
机译:大气压等离子体射流在大气压等离子体下增强电致变色有机镍氧化物薄膜的化学气相沉积
机译:通过大气压等离子体增强的化学气相沉积制造的可见光区域中具有高透明度的UV保护性TiO2薄膜
机译:CF4等离子体处理提高非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的环境可靠性
机译:通过等离子体增强的金属有机化学气相沉积法制得的锶钛氧化物和钡(1-x)锶钛氧化物外延薄膜。
机译:CF4等离子体处理HfO2栅电介质的非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的电性能和可靠性提高
机译:错误:“高性能解决方案 - 沉积无定形铟镓氧化锌薄膜晶体管通过氧等离子体处理”Appl。物理。吧。 100,202106(2012)