机译:具有隐藏式径向垂直梳齿驱动致动器和横杆弹簧结构的两轴MEMS扫描仪的实验表征
机译:具有隐藏式径向垂直梳齿驱动致动器和横杆弹簧结构的两轴MEMS扫描仪的实验表征
机译:由垂直梳状驱动器驱动的两轴MEMS扫描仪的线性化
机译:由垂直梳状驱动器驱动的两轴MEMS扫描仪的线性化
机译:由径向垂直组合致动器驱动的双轴MEMS扫描仪
机译:用于微机电系统(MEMS)的叉指式角度-垂直-梳齿驱动执行器的开发。
机译:具有生物医学应用的旋转静电梳状驱动器的新型MEMS微型夹具的设计
机译:由径向垂直梳状驱动器驱动的双轴mEms扫描仪
机译:用于垂直驱动的静电梳状驱动器。