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机译:由垂直梳状驱动器驱动的两轴MEMS扫描仪的线性化
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机译:具有隐藏式径向垂直梳齿驱动致动器和横杆弹簧结构的两轴MEMS扫描仪的实验表征
机译:具有径向垂直梳状驱动器的两轴MEMS扫描仪-设计,理论分析和制造
机译:由径向垂直组合致动器驱动的双轴MEMS扫描仪
机译:用于内窥镜超高分辨率光学相干断层成像的表面和整体微机械加工二维角垂直梳状致动器扫描仪
机译:具有生物医学应用的旋转静电梳状驱动器的新型MEMS微型夹具的设计
机译:由径向垂直梳状驱动器驱动的双轴mEms扫描仪
机译:使用垂直轴CmOs-mEms驱动和传感的陀螺仪和微镜设计