有全周范围和大平面外平移位移的梳状驱动MEMS谐振扫描仪

摘要

一种用于光学仪器的扫描组合件包含反射器和联接到所述反射器以偏转所述反射器进行光束扫描的折叠梁弹簧组合件。杠杆悬架组合件联接到所述折叠梁弹簧组合件，且提供所述反射器的扭转移动以用于在二维区域内进行光束扫描，从而实现大的总扫描角和大的竖直位移。