机译:具有大平面外行程的静电MEMS平移扫描仪用于多光子显微镜中的远程轴向扫描。
MEMS scanner axial scanning multiphoton microscopy;
机译:具有大平面外行程的静电MEMS平移扫描仪,用于多光子显微镜中的远程轴向扫描。
机译:具有大行程和平面外驱动的静电MEMS弹簧驱动器
机译:静电驱动4H-SiC平面内和平面外高频MEMS谐振器
机译:具有平面内和平面外二维扫描功能的静电MEMS扫描仪,用于共聚焦内窥镜体内成像
机译:用于声换能器的驻极体增强型低压MEMS静电平面外执行器
机译:具有大面外行程的静电mEms平移扫描仪,用于多光子显微镜远程轴向扫描