Micromechanical devices; Two dimensional displays; Mirrors; Imaging; Optical device fabrication; Springs; Fluorescence;
机译:具有大平面外行程的静电MEMS平移扫描仪,用于多光子显微镜中的远程轴向扫描。
机译:基于MEMS的3D共聚焦扫描微型内窥镜,使用MEMS扫描仪进行横向和轴向扫描
机译:适用于通过前端处理制造的微型双轴共聚焦微内窥镜的裂框万向平衡二维MEMS扫描仪
机译:具有平面内和外平面二维扫描能力的静电MEMS扫描仪,用于共聚焦内窥镜的体内成像
机译:低压,基于MEMS的反射和折射光学扫描仪,用于内窥镜生物医学成像
机译:具有大平面外行程的静电MEMS平移扫描仪用于多光子显微镜中的远程轴向扫描。
机译:具有大面外行程的静电mEms平移扫描仪,用于多光子显微镜远程轴向扫描