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梁德春; 庄海涵; 李新坤; 刘福民;
北京航天控制仪器研究所 北京·100039;
MEMS陀螺; 结构释放; 深硅刻蚀; 高垂直度; 聚合物;
机译:具有隐藏式径向垂直梳齿驱动致动器和横杆弹簧结构的两轴MEMS扫描仪的实验表征
机译:基于梳齿间隙的MEMS工艺误差的闭环微加速度计灵敏度偏差概率模型
机译:弹簧对MEMS单轴陀螺仪中梳齿驱动微执行器性能的影响
机译:通过近室温度沉积工艺在混合相纳米晶体薄膜中具有低角度横向生长晶粒的高掺杂和高晶体馏分的新方法,通过近距离沉积工艺进行中性梁辅助CVD
机译:用于微机电系统(MEMS)的叉指式角度-垂直-梳齿驱动执行器的开发。
机译:陀螺仪应用玻璃硅MEMS制造技术的关键工艺
机译:高尺度系数稳定性频率调制MEMS陀螺仪:3轴传感器和集成电子设计
机译:设计和制造具有高G和杀菌能力的气体轴承陀螺仪,并使用低功率气体轴承旋转电机和高频泵季度进度报告,1968年4月1日至1968年6月30日
机译:用于在低工艺温度下使银纳米颗粒形成高导电结构的新颖工艺和高导电结构
机译:具有短垂直梳齿和长平面梳齿的MEMS反射镜
机译:低压化学气相沉积工艺,用于沉积体积电阻率低的高密度高保形氮化钛膜
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