SOG SOI fabrication CMP gyroscope MEMS;
机译:通过MEMS技术制造平面PZT悬臂及其在光学MEMS中的应用
机译:MEMS应用Pb(Zr {sub} xTi {sub}(1-x)O {sub} 3厚膜的制备中关键工艺参数的研究
机译:用于MEMS的Pb(Zr x sub> Ti1?x sub>)O3 sub>厚膜制造中关键工艺参数的研究
机译:40-330 Hz双质量MEMS陀螺对SOI技术的设计,建模和制造
机译:MEMS陀螺仪的性能评估和SAC305-X高温应用焊料的耐冲击性评估。
机译:考虑MEMS陀螺空间应用的热真空稳定性
机译:基于厚SOI技术的40-330 Hz双质量MEMS陀螺仪的设计,建模和制造
机译:DRIE CmOs-mEms陀螺仪的制作,表征和分析