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公开/公告号CN110998231A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-04-10
原文格式PDF
申请/专利权人 HRL实验室有限责任公司;
申请/专利号CN201880049876.1
发明设计人 黄莲欣;洛根·D·索伦森;拉维夫·佩拉西亚;阮勋;大卫·T·常;
申请日2018-06-07
分类号
代理机构北京鸿德海业知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王再芊
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 11:24:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C19/5684 申请日:20180607
实质审查的生效
2020-04-10
公开
机译: 高质量因子MEMS硅仿生振动陀螺仪
机译: 振动陀螺仪的高质量因子MEMS硅铰链和切槽谐振器
机译:高品质因数单晶硅微机械谐振器中与剪切有关的非线性振动
机译:硅MEMS振动陀螺仪激光微调研究
机译:具有超过45的高品质因数的2.8 GHz振动氮化铝MEMS谐振器组合模式
机译:具有高品质因数的多光束音叉陀螺仪的接口电路。
机译:每小时0.04度MEMS磁盘谐振器陀螺仪具有高品质因数(510 k)和长衰减时间常数(74.9 s)
机译:基于MEMS环形科里奥利的频率分裂振动陀螺仪由支持非线性引起的振动镜
机译:用于微空间飞行器的封装硅mEms振动陀螺仪