法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-07-21
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C16/448 公开日:20070131 申请日:20060803
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-04-11
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-01-31
公开
公开
机译: 在比沸腾温度极限高且比分解温度低的温度下从温度高到沸腾温度且比分解温度低的温度下,通过热汽化成气相态,从高毒性和危险的液体前体合成纳米结构的高效激光安装。 500°C和高度可再生的合成
机译: 用于沉积金属氧化物,金属氮化物和纯金属薄膜的有机金属前体化合物,其制备方法以及使用该薄膜的沉积方法
机译: 通过溅射从目标金属氧化物获得一维纳米结构而无需沉积催化剂层的方法