公开/公告号CN103086316B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-07-22
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201110335464.4
申请日2011-10-28
分类号
代理机构上海光华专利事务所;
代理人李仪萍
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:28:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-07-22
授权
授权
2013-06-12
实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20111028
实质审查的生效
2013-05-08
公开
公开
机译: 用于控制流体流动的微阀,具有静电梳齿驱动器,该梳齿驱动器具有两个梳齿结构,该两个梳齿结构连接到阀壳和带有相互接合的电极组的阀元件
机译: Mems垂直梳齿驱动器,具有改善的振动性能
机译: Mems垂直梳齿驱动器,具有改善的振动性能