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目录
第一章 绪论
1.1 引言
1.2 课题研究背景和意义
1.3 静电梳齿型可调微镜的研究现状
1.4 基于硅基氮化镓可调微镜微驱动器的研究现状
1.5 论文的主要工作和研究内容
第二章 MEMS微驱动原理
2.1 各种微驱动器的工作方式
2.2 静电微驱动原理
2.3 几种微驱动器的比较
2.4 本章小结
第三章 基于硅基氮化镓可调微镜梳齿型微驱动器的仿真
3.1 MEMS设计技术的分析
3.2 有限元法
3.3 基于硅基氮化镓可调微镜梳齿型微驱动器的仿真分析
3.4 本章小结
第四章 基于氮化镓可调微镜梳齿型微驱动器的加工与测试
4.1 MEMS加工工艺
4.2 基于硅基氮化镓可调微镜梳齿型微驱动器的加工与制作
4.3 可调微镜梳齿型微驱动器的测试
4.4 本章小结
第五章 总结与展望
5.1 工作总结
5.2 工作展望
参考文献
附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文
附录2 攻读硕士学位期间申请的专利
附录3 攻读硕士学位期间参加的科研项目
致谢