机译:具有额外垂直电极的低压致动微镜,可旋转90度
机译:具有额外垂直电极的低压致动微镜,可旋转90度
机译:具有大静态旋转和垂直驱动的微镜
机译:具有大静态旋转和垂直驱动的微镜
机译:带有垂直梳和张力薄膜扭杆的微镜实现的大旋转和低压驱动
机译:陀螺仪和微镜设计使用垂直轴CMOS-MEMS驱动和传感。
机译:低激励电压的动态聚焦跟踪MEMS扫描微镜用于内窥镜成像
机译:低压MEMS模拟微镜阵列,隐藏垂直梳驱动器致动器
机译:使用垂直轴CmOs-mEms驱动和传感的陀螺仪和微镜设计