Carnegie Mellon University.;
机译:二维MEMS微镜的新型陀螺仪驱动概念
机译:用于抑制生物应用中CMOS-MEMS电容式力传感器的垂直干扰的静电执行器的设计
机译:热激励和压阻感测CMOS-MEMS谐振传感器的优化设计
机译:具有大外置致动的CMOS-MEMS微镜
机译:静电致动MEMS微镜用于光检测和测距的设计与建模
机译:高增益稳健的多自由度电热驱动MEMS陀螺仪的设计与分析
机译:用于高密度光学数据存储精细跟踪机制的热驱动微镜的设计,建模和制造
机译:使用垂直轴CmOs-mEms驱动和传感的陀螺仪和微镜设计