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【2h】

Design, modeling and fabrication of thermal actuated micromirror for fine-tracking mechanism of high-density optical data storage

机译：用于高密度光学数据存储精细跟踪机制的热驱动微镜的设计，建模和制造

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DENG XIAOCHONG;
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年度 2005
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1. DESIGN AND MODELING OF THERMALLY ACTUATED MICROMIRROR FOR FINE-TRACKING MECHANISM OF HIGH-DENSITY OPTICAL DATA STORAGE [J] . DENG XIAOCHONG, YANG JIAPING, CHONG TOW CHONG International Journal of Computational Engineering Science(IJCES) . 2003,第2期

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