电位移致动反射镜阵列的制造方法及采用其制造的电位移致动反射镜阵列的光学投影系统

摘要

用下述方法组装用在光学投影系统中的M×N块电位移致动的反射镜的一个阵列：1.制备两块全同的陶瓷板；2.在其上形成M条全同的沟槽；3.嵌接在一起构成一陶瓷块；4.研磨其上下表面形成一个复合陶瓷结构；5.分别在其下与上表面上提供M×N个信号电极与M+1个偏压电极；6.在一有源矩阵上安装复合陶瓷结构；7.在复合陶瓷结构上部形成M×N块反射镜的一个阵列；8.形成电连接从而形成M×N电位移致动反射镜阵列。