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【2h】

FABRICATION AND SUB-ASSEMBLY OF ELECTROSTATICALLY ACTUATED SILICON NITRIDE MICROSHUTTER ARRAYS

机译：静电致动硅氮化硅微恒阵列的制造和子组装

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L.H. Oh; M.J. Li; K. Kim; A.S. Kutyrev; S.H. Moseley; N.P. Costen; G. Manos; D.P. Kelly;
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年度 2018
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