micromechanical devices; micromirrors; rotation; silicon; thin film devices; torsion; 5 V; Si; bulk silicon; low voltage driving; micromirror; mirror rotation; tense thin film; tensile stress; torsion bar; vertical comb;
机译:时态薄膜扭杆实现微镜的大旋转低电压驱动
机译:张力薄膜扭杆在微镜大旋转低电压驱动下的性能
机译:张力薄膜扭杆在微镜大旋转低电压驱动下的性能
机译:MicroMirror实现大旋转和低压驱动,具有垂直梳和时态薄膜扭杆
机译:纳米晶铜硫族化物薄膜的低压电泳沉积
机译:薄膜/厚膜组合方法实现铝铸件集成铝基应变片传感器
机译:基于染料敏化的低压驱动光电晶体管 纳米晶二氧化钛薄膜