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机译:具有大静态旋转和垂直驱动的微镜
microactuators; micromirrors; optical design techniques; optical fabrication; microelectromechanical systems; micromirror; polyMUMP; prestress comb drive actuator; rotation angle; vertical actuation; vertical displacement; Microelectromechanical systems (MEMS); micr;
机译:具有大静态旋转和垂直驱动的微镜
机译:高填充系数微镜阵列,使用带有两个旋转轴的自对准垂直梳状驱动器执行器
机译:由具有活塞运动和旋转功能的自对准垂直静电梳状驱动器驱动的单晶硅微镜
机译:具有大静态旋转和活塞致动的微镜
机译:陀螺仪和微镜设计使用垂直轴CMOS-MEMS驱动和传感。
机译:具有双压电晶片执行器的电热致动微镜-弯曲型和扭转型
机译:具有大静态旋转和活塞驱动的高纵横比微镜
机译:使用垂直轴CmOs-mEms驱动和传感的陀螺仪和微镜设计