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机译:高填充系数微镜阵列,使用带有两个旋转轴的自对准垂直梳状驱动器执行器
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机译:用于2D扫描微镜的SOI晶圆上的自对准垂直梳状驱动致动器
机译:由具有活塞运动和旋转功能的自对准垂直静电梳状驱动器驱动的单晶硅微镜
机译:使用表面微加工扫描微镜的自对准垂直梳状驱动器
机译:高填充因子,小尺寸MEMS微镜和微镜阵列的开发和应用。
机译:平面外梳齿驱动器空气阻尼的估算
机译:低压MEMS模拟微镜阵列,隐藏垂直梳驱动器致动器