microelectromechanical devices electrothermal effects silicon on insulator;
机译:具有双压电晶片执行器的电热致动微镜-弯曲型和扭转型
机译:具有隐藏式双压电晶片执行器和尖端倾斜活塞功能的高性能滤镜微镜阵列
机译:双压电晶片驱动的微镜的分布式和集总元素模型
机译:通过脉冲宽度调制驱动器最大限度地通过电热致动微镜的恒定速度扫描范围
机译:PZT Bimorph执行器的不确定度量,替代建模和鲁棒控制设计的合成
机译:Al / SiO2双晶型电热致动MEMS反射镜的稳定性研究
机译:具有双晶片致动器的电热驱动微镜 - 弯曲型和扭转型
机译:静电驱动双晶片微镜的分段控制。