光致弯曲薄膜微执行器的研究

摘要

光致弯曲薄膜是一种可遥控供能的新型微执行器驱动元件。介绍了光致弯曲薄膜的驱动原理,综述了光致弯曲薄膜微执行器的开发和研究现状,重点介绍了光致弯曲薄膜微执行器在微液体控制系统和微马达中的应用,并对光致弯曲薄膜在微执行器中的应用进行了展望。