微悬臂梁光致弯曲效应的研究

摘要

微悬臂梁光致弯曲效应是指微悬臂梁在光束照射下，由于光生非平衡载流子的存在而导致的弯曲现象，已经在光子探测器和气体传感器中取得了一定应用。相对于传统的基于光热等效应的光子探测器，利用光生载流子产生应变具有更快的效应速度(

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第一章绪论

1.1 MEMS技术及微悬臂梁

1.1.1 MEMS技术

1.1.2微悬臂梁和工作模式

1.1.3微悬臂梁的应用

1.2 光致应变效应

1.2.1光致应变效应简介

1.2.2光致应变效应的应用

1.3论文主要内容

参考文献

第二章硅微悬臂梁光致弯曲效应的理论研究

2.1现有理论模型简介

2.1.1橡树岭国家实验室所建立的理论模型

2.1.2现有模型的一些不足

2.2 硅微悬臂梁光致弯曲新模型的建立

2.2.1基本模型的建立

2.2.2非理想因素下的分析

2.3模型的验证

2.4微悬臂梁以及照射光束参数的变化对弯曲量的影响

2.5本章小结

参考文献

第三章多层薄膜微悬臂梁结构的光致弯曲

3.1 多层薄膜下光致应变的力学分析

3.2 多层薄膜微悬臂梁光致弯曲模型的应用分析

3.2.1 硅-氧化硅-氮化硅结构

3.2.2硅-金属结构

3.2.3压电式微悬臂梁结构

3.3本章小结

参考文献

第四章微悬臂梁的结构设计思考以及弯曲测量的前期实验

4.1 如何提高最大位移——结构上的思考

4.1.1纯硅梁

4.1.2 Si-Pt微悬臂梁结构

4.2 微悬臂梁光致弯曲的测量的前期实验研究

4.2.1基于SOI晶片的微悬臂梁的制作工艺

4.2.2纳米级微形变的测量

4.3本章小结

参考文献

第五章全文总结

攻读硕士学位期间发表的学术论文

致谢