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机译:使用AIN蚀刻去除TiN金属硬掩模蚀刻残留物
Metal hardmask; etch residues removal; sidewall polymer; TiN; AIN etches; Cu/low-k;
机译:使用AIN蚀刻去除TiN金属硬掩模蚀刻残留物
机译:在先进的多孔低k和Cu器件上采用角倒圆方案去除TiN金属硬掩模蚀刻残留物
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机译:二氧化碳在气体膨胀液体中的作用,用于去除光刻胶和蚀刻残留物
机译:心肌中的弹性细丝:结合选择性去除肌动蛋白和肌球蛋白细丝的深蚀刻复制品分析
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