公开/公告号CN110777381A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-11
原文格式PDF
申请/专利权人 弗萨姆材料美国有限责任公司;
申请/专利号CN201910682235.6
申请日2019-07-26
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人吴亦华
地址 美国亚利桑那州
入库时间 2023-12-17 06:09:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-06
实质审查的生效 IPC(主分类):C23F1/44 申请日:20190726
实质审查的生效
2020-02-11
公开
公开
机译: 用于锡硬掩模的组合物去除和蚀刻残留物清洁
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