...
机译:用于150 nm电子束光刻的化学放大抗蚀剂工艺的仿真
机译:使用化学放大的抗蚀剂工艺的电子束光刻技术制造7纳米四分之一间距(7纳米间距和21纳米线宽)的线和间隔图案的理论研究:I.灵敏度和化学梯度之间的关系
机译:用于电子束光刻的高分辨率图案化的新型化学增强抗蚀剂
机译:化学放大的分子抗蚀剂,用于电子束光刻
机译:使用AZPN114化学放大抗蚀剂的亚150纳米电子束光刻
机译:探索基于溶出抑制剂的非化学放大抗蚀剂,用于193 nm光刻。
机译:CUO / PMMA聚合物纳米复合材料作为电子束光刻的新型抗蚀剂材料
机译:用于EUV光刻的负色度化学放大分子抗蚀剂平台的11nm半间距分辨率