机译:使用三维集成和TSV技术的微系统:基本原理和应用
Tsinghua Univ, Inst Microelect, Beijing 100084, Peoples R China;
MEMS; Microsystem; Microsensor; Three-dimensional integration; Through-silicon-via (TSV); Wafer-level-packaging (WLP);
机译:使用三维集成和TSV技术的微系统:基础和应用
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