公开/公告号CN104396009A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-03-04
原文格式PDF
申请/专利权人 伦塞勒工艺研究所;
申请/专利号CN201380030148.3
发明设计人 约翰·F·麦克唐纳;
申请日2013-06-06
分类号H01L23/48;H01L21/768;H01L25/065;H01L25/16;
代理机构隆天国际知识产权代理有限公司;
代理人郝新慧
地址 美国纽约州
入库时间 2023-12-17 04:57:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-09
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L23/48 申请公布日:20150304 申请日:20130606
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-07-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/48 申请日:20130606
实质审查的生效
2015-03-04
公开
公开
机译: 在3维集成中使用保形涂层弹性垫减少硅通孔(TSV)应力
机译: 在3维集成中使用保形涂层弹性垫减少硅通孔(TSV)应力
机译: 在3维集成中使用保形涂层弹性垫减少硅通孔(TSV)应力