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IkedaK; 孙海涛;
不详;
谐振应变仪; 硅压力; 传感器;
机译:应变仪集成聚合物膜片压力传感器的制造与表征
机译:DETF石英谐振器与硅膜片结合设计谐振压力传感器
机译:具有蚀刻硅双膜片和组合梁的横向驱动谐振压力传感器
机译:聚合物应变仪作为微加工芯片上器官的压力传感器
机译:使用硅微加工进行三维集成和封装。
机译:横向驱动的谐振式压力传感器,带有蚀刻硅双膜片和组合梁
机译:膜片挠度的新解析解及其在表面211微加工压力传感器中的应用
机译:半导体压力传感器,例如,作为车辆发动机进气中的进气压力传感器,具有半导体基板,膜片部分,应变仪,电路部分以及硅膜的局部氧化
机译:压力传感器装置具有膜片和计数元件,其中膜片设置成相对于膜片相对运动,这取决于膜片局部区域上的作用力
机译:传感器,即压力传感器,布置对准方法,涉及产生用于布置对准的传感器布置的应变仪的温度变化,其中压力计布置在布置的膜片上
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