硅微谐振式压力传感器闭环检测系统研究

目录

声明

第一章 绪论

1.1 研究工作的背景与意义

1.2 国内外研究现状

1.2.1 硅微谐振式压力传感器

1.2.2 硅微谐振式压力传感器的激励与检测

1.3 本论文主要研究内容与结构安排

第二章 硅微谐振式压力传感器基本原理

2.1 硅微谐振式压力传感器工作原理

2.2 硅微谐振式压力传感器闭环工作原理及线性模型建立

2.2.1硅微谐振式压力传感器闭环工作原理

2.2.2 硅微谐振式压力传感器线性模型

2.3 本章小结

第三章 硅微谐振式压力传感器模拟闭环检测系统构建与测试

3.1 锁相环电路工作原理及模型建立分析

3.1.1 鉴相器

3.1.2 环路滤波器

3.1.3 压控振荡器

3.1.4 锁相环路整体模型

3.2 基于锁相环技术模拟闭环检测系统搭建与测试

3.2.1 前置放大模块

3.2.2 信号处理模块

3.2.3 锁相环模块

3.2.4 激励模块

3.2.5 测试结果分析

3.3 本章小结

第四章 硅微谐振式压力传感器数字闭环检测系统构建与测试

4.1 全数字锁相环电路工作原理及建模分析

4.1.1 全数字锁相电路工作原理

4.1.2 全数字锁相环电路建模分析

4.2基于锁相环技术数字闭环检测系统搭建与测试

4.2.1 全数字锁相环模块

4.2.2 模数（A/D）转换模块和数模（D/A）转换模块

4.2.3 测试结果分析

4.3 本章小结

第五章 基于线性反馈硅微谐振式压力传感器闭环检测系统构建

5.1 硅微谐振式压力传感器非线性模型建立及分析

5.1.1 硅微谐振式压力传感器非线性模型建立

5.1.2 硅微谐振式压力传感器非线性模型分析

5.2 基于线性反馈硅微谐振式压力传感器闭环检测系统构建

5.2.1 谐振器非线性模型锁相环闭环检测系统建模分析

5.2.2 基于线性反馈闭环检测系统建模分析

5.3 本章小结

第六章 总结与展望

6.1 本文的主要工作总结

6.2 工作展望

参考文献

致谢

攻读硕士期间取得的成果