硅微谐振式压力传感器设计与分析

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摘要

第一章绪论

1．1 MEMS技术的概述

1．2压力传感器

1．2．1压阻式MEMS压力传感器

1．2．2电容式MEMS压力传感器

1．2．3谐振式MEMS压力传感器

1．3硅微谐振式压力传感器国内外现状

1．4硅微谐振式压力传感器应用需求和研究意义

1．5本文主要任务与章节安排

第二章硅微谐振式压力传感器理论分析

2．1硅微谐振式压力传感器工作原理

2．2工型谐振梁分析

2．2．1单端固支导梁理论计算

2．2．2工型谐振梁理论计算

2．3压力敏感膜片分析

2．4谐振器研究

2．4．1谐振器固有频率计算

2．4．2动力学分析

2．5静电驱动力分析与压阻效应

2．6本章小结

第三章硅微谐振式压力传感器设计与仿真验证

3．1谐振器结构设计与仿真

3．1．1谐振器结构设计

3．1．2谐振器建模与仿真

3．2压力敏感膜与固定端设计

3．2．1固定端设计

3．2．2压力敏感膜片与硅岛设计

3．3整体建模与仿真

3．4本章小结

第四章基于SOI硅微谐振式压力传感器工艺与版图

4．1简介

4．2传感器工艺制备流程

4．3版图设计

4．4本章小结

第五章结论与展望

5．1结论

5．2展望

参考文献

攻读硕士期间的学术活动及成果情况