一种硅微谐振式压力传感器闭环检测系统

摘要

本发明公开了一种硅微谐振式压力传感器闭环检测系统，包括模拟电路模块和数字电路模块，所述模拟电路模块由前置放大模块、信号处理模块和激励模块组成，所述数字电路模块由模数转换模块、全数字锁相环模块和数模转换模块组成，所述前置放大模块由检测电路和放大滤波电路组成，所述信号处理模块由移相器组成，所述全数字锁相环模块由分频器、数字鉴相器、数字环路滤波器和数控振荡器组成。本发明避免了模拟电路存在的电路结构复杂，信号抗干扰性弱，波形失真，零点漂移等缺点，相比于模拟锁相环，分频器可根据输入信号不同进行设置，满足二分频，三分频等，不易受到外界温度和电压的影响，抗干扰性能更强且具有更高的精度。