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任森; 苑伟政; 邓进军;
中国微米/纳米技术学会;
中国仪器仪表学会;
中国机械工程学会;
谐振式压力传感器; 敏感膜片; 硅岛; 凸角补偿;
机译:热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究(英文)
机译:热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究
机译:DETF石英谐振器与硅膜片结合设计谐振压力传感器
机译:批量制造的硅压力传感器中的膜片形成和压力敏感性
机译:光纤压力传感器膜片的热机械设计研究。
机译:具有蚀刻硅双膜片和组合梁的横向驱动谐振压力传感器
机译:横向驱动的谐振式压力传感器,带有蚀刻硅双膜片和组合梁
机译:基于Q因子测量的高分辨率大动态范围谐振式压力传感器
机译:压力传感器半导体压力传感器具有通过在硅膜支架上蚀刻而形成的中心腔,并延伸至测量膜片
机译:半导体压力传感器,例如,作为车辆发动机进气中的进气压力传感器,具有半导体基板,膜片部分,应变仪,电路部分以及硅膜的局部氧化
机译:带有停止限制压力传感器的压力传感器实际上是为膜片计设计的。
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