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谢胜秋; 姚东媛; 张丽新; 邹向光;
中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨,150001;
硅-蓝宝石; 双膜片; ANSYS; 压力传感器;
机译:高灵敏度绝缘体上硅压力传感器的计算机辅助建模和膜片设计方法
机译:用于测量集中力的E型圆膜片上硅束谐振器频率特性的有限元建模和仿真
机译:基于结构“在蓝宝石上的结构”硅的压力传感器温度误差校正压力传感器温度误差的数字方法
机译:带有不锈钢膜片的硅压力传感器,适用于高温和化学应用
机译:蓝宝石上硅(SOS)上的硅锗互补金属氧化物半导体场效应晶体管的设计,表征和轮廓优化。
机译:具有蚀刻硅双膜片和组合梁的横向驱动谐振压力传感器
机译:微机械硅膜片在高温压力传感器中的应用研究
机译:硅压力传感器上的高温硅
机译:用于测量压力的压力传感器火箭发动机的应变片设置在可变形膜片上,以测量膜片的变形,其中应变片由金属氧化物制成,例如氧化锡,膜片由蓝宝石制成
机译:带有停止限制压力传感器的压力传感器实际上是为膜片计设计的。
机译:蓝宝石薄膜上的硅的制备方法以及由该薄膜制备的蓝宝石薄膜上的硅
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