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双膜片的硅-蓝宝石高温压力传感器

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介绍了用硅-蓝宝石材料制作的通过采用双膜片结构及真空高温烧结工艺制成的高温压力传感器,并利用电路温度补偿来提高传感器高温压力的测量精度.350℃下测得传感器的准确度为0.1%.

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来源
《黑龙江大学自然科学学报》 |2001年第4期|56-58,62|共4页
作者
张世荣; 文彬; 崔光浩;
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作者单位

信息产业部电子第四十九研究所七室,;

信息产业部电子第四十九研究所七室,;

信息产业部电子第四十九研究所七室,;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.12;
关键词
硅-蓝宝石材料; 双膜片结构; 真空高温烧结; 压力传感器; 高温;

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