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硅-蓝宝石压力传感器芯片调整电阻的设计

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介绍了硅-蓝宝石压力传感器芯片外延硅层上调整电阻的设计和应用,通过设计调整电阻来实现芯片的电桥平衡,达到了调整其输出特性、改善传感器性能、提高芯片适用性的目的.

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来源
《传感器与微系统》 |2004年第9期|40-41,44|共3页
作者
姚东媛; 文彬; 谢胜秋; 邹向光;
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作者单位

中国电子科技集团公司,第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

中国电子科技集团公司,第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

中国电子科技集团公司,第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

中国电子科技集团公司,第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
硅-蓝宝石; 压力传感器芯片; 调整电阻;

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