机译:CVD钨反应器的高级过程控制
机译:利用模糊逻辑技术的PECVD工艺先进制造工艺控制系统
机译:专利申请批准程序中的“电容式Cvd反应器和等离子Cvd工艺方法”
机译:CVD合成钨和碳化钨的方法以及化学转化和结晶过程的机理
机译:通过原位颗粒监测和上游工艺控制提高CVD钨的工艺稳定性
机译:实时原位化学传感,基于传感器的膜厚计量和W-CVD工艺中的工艺控制。
机译:通过在MOCVD反应器中掺杂来控制石墨烯功函数
机译:开发用于多晶硅生产的化学气相沉积(CVD)反应器的先进控制系统
机译:CVD反应器中化学和传输现象的详细建模。应用于钨LpCVD(Gedetailleerde modellering van Chemie en Transportverschijnselen in CVD Reactoren。Toepassing op Wolfraam LpCVD)