University of Maryland, College Park.;
机译:AlGa / V / GaN金属有机化学气相沉积工艺中的原位化学传感,可进行精确的膜厚计量和实时高级工艺控制
机译:10 Torr W化学气相沉积工艺中的原位质谱用于膜厚计量和实时高级工艺控制
机译:使用声传感器在10 Torr W化学气相沉积过程中进行实时原位膜厚计量
机译:使用质谱法的原位感测及其在W-CVD簇工具上进行运行控制的用途
机译:氮化铝镓/氮化镓金属有机化学气相沉积工艺中的实时原位化学传感,可进行高级过程控制。
机译:电流密度在线计量的不锈钢喷射电化学加工过程控制
机译:可编程CVD过程中的多重化学传感和薄膜计量学。
机译:高温制造过程的原位传感与控制:金属有机化学气相沉积(mOCVD)工艺的多传感神经控制