机译:退火对铁电electric-锆-氧化物基晶体管技术的影响
Natl Chiao Tung Univ, Int Coll Semicond Technol, Hsinchu 30010, Taiwan;
Taiwan Semicond Res Inst, Hsinchu 30078, Taiwan;
Natl Chiao Tung Univ, Int Coll Semicond Technol, Hsinchu 30010, Taiwan|Univ Calif Berkeley, Dept Elect Engn & Comp Sci, Berkeley, CA 94720 USA;
Natl Chiao Tung Univ, Int Coll Semicond Technol, Hsinchu 30010, Taiwan;
Hafnium zirconium oxide; ferroelectricity; annealing;
机译:铪 - 氧化锆装置热退火和铁电电容器面积效应的实验研究
机译:通过远程等离子体原子层沉积制备的退火和唤醒循环对氧化锆氧化锆超薄膜的铁电性的影响
机译:通过溅射和化学溶液沉积氧化物通道铁电栅晶体管应用沉积的氧化铪 - 二氧化锆膜中铁电性的热稳定性
机译:铁电晶体管应用中溅射和化学溶液沉积沉积的铁氧化锆膜中铁电性的鲁棒性
机译:铅锆钛氧化物基铁电非易失性存储器。
机译:助剂对氧化锆基催化剂材料结构和表面性能的影响
机译:用于铁电铪氧化锆形成的后端型兼容低温炉退火