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氢退火对氧化锌薄膜晶体管性能的影响

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本文报道了利用射频磁控溅射方法存室温下制备了氧化锌薄膜晶体管的实验结果.x光衍射谱(XRD)表明所制备的氧化锌薄膜有很好的c轴择优取向.对氧化锌薄膜晶体管的转移特性及输出特性等电学特性进行了测试分析.结果表明,氢气氛退火可以提高氧化锌薄膜晶体管的沟道迁移率,改善了氧化锌薄膜晶体管的性能.

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来源
《2008中国平板显示学术会议》|2008年|203-205|共3页
会议地点上海
作者

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作者单位

中国物理学会;

中国光学光电子行业协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN321.5;
关键词
氧化锌; 薄膜晶体管; 氢退火;
入库时间 2022-08-17 11:08:36

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