机译:EUV光源激光产生等离子体中植入射线膜保护膜的表面形态变化
Gigaphoton Inc Hiratsuka Facil 3-25-1 Shinomiya Hiratsuka Kanagawa 2548555 Japan;
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Tokyo Inst Technol Dept Mat Sci & Engn Midori Ku 4259 Nagatsuta Yokohama Kanagawa 2268502 Japan;
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EUV; Photolithography; Laser produced plasma; Thin films;
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