EUV光刻用光源—激光等离子体

摘要

迄今为止,有一种观念认为,高功率激光器等于极限的研究工具,随着激光技术的发展高功率脉冲激光器正在工业中和其他研究领域作为光源利用。尤其是以钛蓝宝石激光器为代表的工作台上的T^3激光器或应用于加工、焊接等领域的半导体激励的固体激光器只要组装在市售的激光装置上,就可实现高聚光强度,简便而稳定地产生等离子体,并可以进行重复操作。另一方面,在激光热合或X射线激光领域,经长期的研究而构筑起来的激光等离子体物理还只被视为一部分研究领域,其软件转换方面的迟缓有时也产生应用领域中的新的开发方面的迟缓。尤其在应用方面最先掘起的X射线的产生是通过原子物理学和含放射传输的流体力学双方交汇在一起来决定其整体特性的。